? 儀器介紹
產品源于中山大學光電材料與技術國家重點實驗室，相關技術“達到國際先進產品的水平”，多項研究成果突破國際封鎖和技術壁壘。產品技術團隊與廣東省集成電路工程技術研究中心、廣東省綠色電力變換及智能控制工程技術研究中心、中山大學物理學院和中山大學測試中心等單位，以及眾多高校和研究單位、相關領域的國內領先企業有著長期緊密的合作關系，在表面分析測試、微弱信號檢測、測控系統設計、儀器研發生產等方面具有深厚積累和豐富經驗。
? 儀器特點
● 可采用基于石英音叉的壓電自感知探針（如Akiyama探針）；也可采用傳統的激光檢測的原子力顯微鏡探針
● 采用自感知探針可實現頻率調制模式的形貌成像和多種測量分析功能，操作簡單，測量時樣品無激光干擾
● 采用激光檢測探針可實現接觸和輕敲模式的形貌成像和各種原子力顯微鏡的測量分析功能
● 采用高精度嵌入式測控系統，主機隔音抗震設計，抗干擾能力強
● 可擴展納米加工、掃描隧道顯微鏡、靜電力顯微鏡、磁力顯微鏡等各種掃描探針顯微鏡的常見功能
● 可選配擴展模塊接口增強系統功能，可與光學系統完美聯用，支持功能定制
? 應用領域
● 原子力顯微鏡的常規實驗及研究，如：納米形貌物性研究、納米科技教育培訓
● 基于壓電自感知探針的形貌成像和譜測量分析，如光柵樣品、二維材料的頻率調制形貌成像
● 基于激光檢測型探針的形貌成像和譜測量分析，如軟磁盤、光盤、光柵等樣品的接觸/輕敲模式的形貌成像
● 掃描隧道顯微鏡（STM），包括形貌成像和隧道譜（需增配STM模塊）
● 原子力顯微鏡與拉曼聯用，實現無光環境的物性測量、納米尺度的拉曼光譜分析（需增配光譜聯用模塊）
● 基于原子力顯微鏡的拓展應用領域及實驗，包括：納米加工刻蝕、導電原子力顯微鏡（C-AFM）、靜電力顯微鏡
（EFM）、磁力顯微鏡（MFM）等（需增配相應功能模塊）
? 技術參數
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